Микроинтерферометр - прибор, предназначенный для измерения параметров шероховатости полированных и доведенных поверхностей. Принцип действия микроинтерферометра основан на воспроизведении интерференционной картины, полосы которой повторяют конфигурацию неровностей измеряемой поверхности.