Сверхяркие голубые светодиоды впервые получены на 6-дюймовых сапфировых подложках
15 июня 2009 г.
Просмотров: 856
Поделиться:
Специалистами AIXTRON в сотрудничестве с Semileds впервые были получены голубые светодиоды (UHB LED) на основе структур GaN, выращенных на на 6-ти дюймовых сапфировых подложках.
Не только сами результаты выглядят обнадеживающе, но и тот факт, что весь процесс производства светодиодов может впоследствии быть успешно применен на подложках большего размера.
Процесс производства светодиодов из 6-ти дюймовых пластин основан на МОС-гидридной эпитаксии и серии последующих шагов производства конечных устройств, включая финальную проверку. В частности, стуктуры для LED наносились на сапфировые подложки толщиной 1000мкм и диаметром 6 дюймов в MOCVD-реакторе AIX 2800G4 с конфигурацией 6×6".
Вход на сайт